清洁装置
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CLEAN MACHINE

粘尘机中新推出MC系列。完善了避免粉尘产生的功能!

本公司在使用清洁滚轮和清洁胶带进行基板表面除尘的粘尘机中,新推出了MC系列。MC系列,取消了清洁滚轮驱动部的齿轮和皮带,采用非接触式驱动清洁滚轮的MDC驱动方式,改善了装置发生粉尘的问题。该设备继承了传统设备适用于超薄基板的特点,并大幅改善了操作性和维护性。

您是否碰到过这样的情况?

“基板通过清洁装置时,清洁装置会晃动”,您是否碰到过这样的情况?这是因为清洁装置与运送装置之间存在速度差异,导致基板的除尘效果下降,且会给清洁装置和运送装置造成损伤。MC系列中增加了吸收速度差异的结构,由此就不会再发生上面的问题。
クリーニング装置解説
MC系列 ROBO-STCKY
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MC-1200 MC-1200

MC-1200

清洁滚轮式清洁装置
※粘尘机“2层滚轮式”

MC-2000 MC-2000

MC-2000

清洁滚轮式清洁装置
※粘尘机“2层滚轮式”

MC-4000 MC-4000

MC-4000

清洁滚轮式清洁装置
※粘尘机“4层滚轮式”

MC-4000-312K MC-4000-312K

MC-4000-312K

清洁滚轮式清洁装置
※MC-4000的高级机型规格

GT系列 ROBO-STCKY
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GT-2303 GT-2303

GT-2303

清洁滚轮式清洁装置
※粘尘机“滚轮竖排式”

RB系列 滚轮毛刷
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RB-2000 RB-2000

RB-2000S

毛刷式清洁装置
※采用超细尼龙毛刷,防止划伤基板,同时去除基板表面的异物和灰尘。

MC-2000 MC-2000

MC-2000RB

是将清洁毛刷式清洁装置和清洁滚轮式清洁装置合二为一的装置。可双倍发挥去除基板上的异物和尘埃的除尘效果。

MC-4000 MC-4000

MC-2000RB-RTN

MC-2000RB的附带传送带式设备可往返进行清洁动作。

JS系列 非接触式
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JS-700 JS-700

JS-700

非接触式清洁除尘装置
通过采用基于流体力学最佳设计的特殊喷嘴,无需接触即可去除工件表面的异物。

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