クリーニング装置
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CLEAN MACHINE

ロボステッキーにMCシリーズ登場。発塵しない充実機能!

クリーンローラとクリーニングテープで基板表面を除塵するロボステッキーに、新しくMCシリーズが登場しました。MCシリーズは、クリーンローラ駆動部のギヤーやベルトを無くし、非接触でクリーンローラを駆動するMDC駆動方式を採用し、装置の発塵対策を行いました。また従来機の薄板に強い特徴を継承した上で、操作性、メンテ性とも一段と向上した装置となりました。

こんな経験ありませんか

「基板がクリーニング装置を通過する際に、クリーニング装置が揺れている」こんな経験はありませんか。これはクリーニング装置と前後装置との速度差が原因で、基板の除塵効果が低下したり、クリーニング装置と前後装置にダメージを与えたりします。MCシリーズは速度差を吸収する機構が設けてあり、このようなトラブルとは無縁です。
クリーニング装置解説
MCシリーズ ROBO-STCKY
※写真をマウスオーバーすると機械名が、クリックすると別ウィンドウで製品情報(pdf形式)が開きます。※写真をクリックすると別ウィンドウで製品情報(pdf形式)が開きます。
MC-1200 MC-1200

MC-1200

クリーンローラ式クリーニング装置
※ロボステッキー「2段ローラタイプ」

MC-2000 MC-2000

MC-2000

クリーンローラ式クリーニング装置
※ロボステッキー「2段ローラタイプ」

MC-4000 MC-4000

MC-4000

クリーンローラ式クリーニング装置
※ロボステッキー「4段ローラタイプ」

MC-4000-312K MC-4000-312K

MC-4000-312K

クリーンローラ式クリーニング装置
※MC-4000のハイグレードモデル仕様

GTシリーズ ROBO-STCKY
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GT-2303 GT-2303

GT-2303

クリーンローラ式クリーニング装置
※ロボステッキー「たて型」

RBシリーズ ロールブラシ
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RB-2000 RB-2000

RB-2000S

ロールブラシタイプクリーニング装置
※極細ナイロンブラシを採用し基板を傷つける事なく、表面の塵や埃をかき落とします。

MC-2000 MC-2000

MC-2000RB

ロールブラシタイプクリーニング装置とクリーンローラ式クリーニング装置の一体型装置です。
基板上の塵や埃の除塵効果をダブルで強力発揮。

MC-4000 MC-4000

MC-2000RB-RTN

MC-2000RBのコンベア付きタイプで往復クリーニング動作可能な装置です。

JSシリーズ 非接触
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JS-700 JS-700

JS-700

非接触クリーニング除塵装置
流体力学を元に最適設計した特殊ノズルにより、ワーク表面の異物除去を非接触で実現します。

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