ロボステッキーにMCシリーズ登場。発塵しない充実機能!

クリーンローラとクリーニングテープで基板表面を除塵するロボステッキーに、新しくMCシリーズが登場しました。MCシリーズは、クリーンローラ駆動部のギヤーやベルトを無くし、非接触でクリーンローラを駆動するMDC駆動方式を採用し、装置の発塵対策を行いました。また従来機の薄板に強い特徴を継承した上で、操作性、メンテ性とも一段と向上した装置となりました。

こんな経験ありませんか

「基板がクリーニング装置を通過する際に、クリーニング装置が揺れている」こんな経験はありませんか。これはクリーニング装置と前後装置との速度差が原因で、基板の除塵効果が低下したり、クリーニング装置と前後装置にダメージを与えたりします。MCシリーズは速度差を吸収する機構が設けてあり、このようなトラブルとは無縁です。