反り修正システム - 株式会社FTMテクニカルサービス

基板反り直しシステム　
WARP REFORM SYSTEM

高い評価を得ている基板の反り直しシステムは、当社のノウハウを盛り込んだ加熱機、反り直し機、そして徐冷装置の組み合わせで実現します。

遠赤外線ヒータを利用したコンベアー炉で基板を素早く加熱します。またオーブンでの加熱と異なり1枚ずつ加熱しますので、基板ごとの温度むらが少なくなります。

上下合わせ41本のローラで基板の反りを伸ばします。入り側は強く基板を押し、出側は弱く押します。

ファンにより室温で基板を徐々に冷やし、反りの戻りを押さえます。

●処理能力が高い
●反りの直りが良い
●反りの戻りが少ない
など高い評価をいただいている

基板反り直しシステム

基板反り直しシステム図

ワーク仕様

●寸法　100×100mm～430×510mm
●厚さ　0.3～1.6mm

ライン仕様

●寸法　幅6095×奥行1100×高さ1675(リフト時1800)mm
●電源　各種対応
●エアー　圧力0.5Mpa、消費流量200ℓ/min(ANR)以下
●排気（過熱機）　最大風量6.5㎥　ダクト径φ75mm

ST-8120 基板投入機
GT-2890 クリーンローラ式クリーニング装置
ST-8110 加熱機
ST-8180 反り直し機
ST-8130 徐冷装置
ST-8140 基板受取機

反り検査機［自動選別タイプ］　
WARP REFORM SYSTEM

基板の投入→基板の反り計測→合格品と不合格品の選別までを行う基板反り検査・判別システムです。

●レーザーセンサーで基板の高さを測定し、基板の反り量を求めます。
●最高2.5秒/ 枚の処理能力があります。(基板の長さ、コンベアー速度により処理時間は変わります)

ワーク仕様

●寸法　80×80mm～500×500mm

ライン仕様

●寸法　幅3240×奥行1100×高さ1620mm
●電源　各種対応
●エアー　圧力0.5Mpa、消費流量200ℓ/min(ANR)以下
●測定再現性　±0.1mm
●測定範囲　ベルト面から0.7～10mm

ST-8120 基板投入機
ST-8170 基板反り検査機
ST-8190 自動振分受取機

反り検査機［卓上タイプ］　
WARP REFORM

基板をテーブルに置き、スイッチを押すだけで簡単に基板の反り検査が行える卓上型基板反り検査機です。

●抜き取り検査が簡単
　検査は個人差なく行え、コンピュータでデータ管理が簡単にできます。
●反り直しシステムとの併用では反り直し効果の管理に有効です。

卓上型反り検査機　ST-8172

仕様

●機械寸法　幅600×奥行680×高さ600mm
●測定範囲　面積幅300〜奥行280mm×高さ0.5〜10.0mm
●センサー　可視半導体レーザ(波長670nm)
●使用電源　AC100V　3組　0.3A
●重量　約60kg
●付属品　サンプリングソフト(測定査データをExcelに取り込むことができます)　